EVOCHEM liefert ein umfangreiches Portfolio an fluoridischen Targets. Neben den Stadardmaterialien liefert EVOCHEM auch Materialien, die besonders gut für Anwendungen wie DUV/VUV geeignet sind (MgF2 und LaF3).
| Name | Formel | Reinheit |
|---|---|---|
| Aluminumfluorid - Sputter Target | AlF3 | 4N |
| Bariumfluorid - Sputter Target | BaF2 | 3N-3N5 |
| Calciumfluorid- Sputter Target | CaF2 | 3N-4N |
| Cerfluorid - Sputter Target | CeF2 | 3N-4N |
| Cryolite - Sputter Target | Na3AIF6 | 4N |
| Dysprosiumfluorid - Sputter Target | DyF3 | 3N |
| Erbiumfluorid - Sputter Target | ErF3 | 4N |
| Lanthanfluorid - Sputter Target | LaF4 | 4N |
| Bleibfluorid - Sputter Target | PbF2 | 2N5 |
| Lithiumfluorid - Sputter Target | LiF | 2N |
| Praseodymfluorid - Sputter Target | PrF3 | 2N5 |
| Magnesiumfluorid - Sputter Target | MgF2 | 3N-5N |
| Neodymfluorid - Sputter Target | NdF3 | 3N |
| Samariumfluorid - Sputter Target | SmF3 | 3N |
| Natriumfluorid - Sputter Target | NaF | 3N |
| Strontiumfluorid- Sputter Target | SrF2 | 3N |
| Yttriumfluorid - Sputter Target | YF3 | 4N |
| Ytterbiumfluorid - Sputter Target | YbF3 | 4N-5N |
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