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Schwingquarze für Ihren PVD-Prozess

EVOCHEM bietet eines der umfangreichsten Portfolios an Schwingquarzen - zu Top-Konditionen.

Alle Schwingquarze werden hinsichtlich Frequenz, Widerstand und Wölbung gesprüft, um Ihnen ein möglichst fehlerfreies Produkt liefern zu können.

Qualität und Langlebigkeit eines Schwingquarzes sind nicht nur die Voraussetzung für die Genauigkeit von Raten- und Schichtdickenmessungen, sondern auch für die erfolgreiche Durchführung des zu kontrollierenden Prozesses. Unsere Schwing-quarze bieten eine zuverlässige Qualität , die sich in Millionen von erfolgreichen Prozessläufen bewährt hat.

Eine umfangreiche Lagerhaltung gewährleistet, dass wir alle gängigen Schwingquarze innerhalb von 3 Arbeitstagen an Sie verschicken können.

Klicken Sie HIER für unsere Übersichtsbroschüre. Gerne beraten wir Sie bei einem persönlichen Gespräch über unsere Schwingquarze.

Bitte wenden Sie sich an UNS, wenn Sie weitere Fragen haben oder ein individuelles Agnebot wünschen.

Die richtigen Schwingquarze für Ihren Prozess

Unsere mit 5 und 6 MHz erhältlichen Schwingquarze, die mit Elektroden aus Gold, Silber oder aus einer belastungsverringernden Legierung ausgestattet sind, werden nach strengen Vorgaben hergestellt und sorgfältig geprüft, um eine hohe Ausbeute und optimale Zuverlässigkeit zu gewährleisten.

Für die meisten Anwendungsfälle empfehlen wir den Einsatz von Gold - Schwingquarzen. Diese Schwingquarze zeichnen sich durch einen niedrigen Kontaktwiderstand und eine hohe Beständigkeit aus. Die Schwingquarze mit Goldelektroden eignen sich am besten zur Überwachung von PVD-Prozessen, die geringen Belastungen ausgesetzt sind. Silber-Schwingquarze zeigen bei Prozessen mit hoher Wärmebelastung ein überlegenes Prozessverhalten.

Alloy-Schwingquarze empfehlen sich bei Beschichtungen mit nichtleitenden Materialien in der Optik und für Halbleiterprozesse mit hochbeanspruchten Materialien.

Name Artikel Nummer Frequenz, Anker
Gold Schwingquarz, Au 100120 6MHz, Doppelanker
Silber Schwingquarz, Ag 101253 6MHz, Doppelanker
Silber Schwingquarz, Ag 101250 5MHz, Doppelanker
Silber Schwingquarz, Ag 101251 5MHz, Einfachanker
Silber Alloy 101233 6MHz, Einfachanker

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