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PVD-Zubehöre - Tiegeleinsätze

EVOCHEM bietet  bietet eine Vielfalt an Tiegeleinsätzen zur Verwendung in Elektronenstrahlverdampfern an. Tiegeleinsätze empfehlen sich aus den folgenden Gründen bei vielen PVD-Prozessen:

  • Schneller Materialwechsel möglich, dadurch Minimierung von Kammer-Stillzeiten
  • verbesserte thermische Stabilität und geringere Wärmeübertragung auf den Tiegeleinsatz
  • Senkung des Energieverbrauchs und der Gesamtbetriebskosten


Wir können die Tiegeleinsätze in beliebigen Geometrien und Mengen zur Verwendung in Verdampfern von z.B. TELEMARK, TEMESCAL, FERROTEC, LEYBOLD oder BALZERS liefern. Bitte kontaktieren Sie uns bezüglich Ihrer gewünschten Konfiguration.

Hier können Sie zur Auswahl des richtigen Materials unsere Auswahltabelle für Tiegeleinsätze herunterladen.

Name Formel
Boron Nitride BN
Copper Cu
Graphite C
Molybdenum Mo
Tantalum Ta
Tungsten W
Aluminum Oxide Al2O3

Company News

EVOCHEM als Aussteller - 24-27 Juni

EVOCHEM führt aktualisiertes QMS-System ein