Aufdampfmaterialien - Oxide

Das EVOCHEM Sortiment enthält eine breite Palette an Oxiden, die für die spezielle Anforderungen der Hochvakuum Beschichtung (PVD) optimiert wurden. Dabei liefert EVOCHEM Metalloxide in vollständig stöchiometrischer Form (weiss, luftkalziniert), geringfügig unterstoichiometrisch (grau, vakuumkalziniert) und in einige stark unterstoichiometrische Formen.


Neben allen gängigen Oxiden (Ta2O5, Ti2O3, Ti3O5) liefert EVOCHEM auch eine Reihe an Spezialoxiden (LaTiO3), die sich durch eine hohe Prozessstabilität sowie eine höhere Ausbeute auszeichnen.

 

Name Formel Reinheit  
Aluminum Oxide Al2O3 2N-6N  
Antimony Oxide Sb2O3 2N3-3N  
Antimony Tin Oxide ATO 3N5  
Barium Titanate BaTiO3 2N6-4N  
Bismuth Oxide Bi2O3 2N5-3N  
Cerium Oxide CeO2 CeO2/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Copper Oxide CuO 3N  
Chromium Oxide Cr2O3 3N  
Dysprosium Oxide Dy2O3 Dy2O3/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Erbium Oxide Er2O3 ErO3/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Europium Oxide Eu2O3 Eu2O3/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Gadolinium Oxide Gd2O3 Gd2O3/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Gallium Oxide Ga2O3 4N-5N  
Germanium Oxide GeO2 4N-5N  
Hafnium Oxide HfO2 4N  
Holmium Oxide Ho2O3 Ho2O3/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Indium Oxide In2O3 2N-5N  
Indium Tin Oxide ITO 4N  
Iron Oxide Fe2O3 3N  
Iron Oxide Fe3O4 3N  
Lanthanum Oxide La2O3 La2O3/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Lanthanum Aluminate LaAlO3 3N  
Lead Titanate PbTiO3 3N  
Lead Zirconate PbZrO3 4N  
Lithium Niobate LiNbO3 4N  
Lithium Oxide LiO 3N  
Lithium Tantalate LiTaO3 4N  
Lutetium Iron Oxide Lu3Fe5O12 3N  
Lutetium Oxide Lu2O3 Lu2O3/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Magnesium Oxide MgO 2N5-4N  
Manganese Oxide MnO 3N  
Magnesium Titanate MgTiO3 3N  
Molybdenum Oxide MoO3 2N8-3N  
Neodymium Oxide Nd2O3 Nd2O3/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Niobium Pentoxide Nb2O5 3N-4N  
Praseodymium Oxide Pr6O11 Pr6O11/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Praseodymium Titanate PrTiO22 3N  
Praseodymium Oxide Pr2O3 Pr2O3/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Samarium Oxide Sm2O3 Sm2O3/TREO:2N-3N min TREO:2N min
Scandium Oxide Sc2O3 Sc2O3/TREO: 4N-5N TREO: 2N5-3N5  
Silicon Dioxide SiO2 4N  
Silicon Monoxide SiO 3N-4N  
Strontium Titanate SrTiO3 3N  
Strontium Zirconate SrZrO3 3N  
Tantalum Pentoxide Ta2O5 3N5-4N  
Terbium Oxide Tb4O7 Tb4O7/TREO:2N5-5N TREO:2N
Tellurium Oxide TeO2 4N-5N  
Thulium Oxide Tm2O3 Tm2O3/TREO: 4N-5N TREO: 2N5-3N5  
Titanium Dioxide TiO2 3N  
Titanium Monoxide TiO 3N  
Titanium Pentoxide Ti3O5 3N5-4N  
Titanium Trioxide Ti2O3 3N5  
Tin Dioxide SnO2 3N-6N  
Tin Monoxide SnO 3N-6N  
Tungsten oxide WO3 3N  
Vanadium Pentoxide V2O5 3N  
Yttrium Aluminum Oxide (YAG) Y3Al5O12 4N  
Ytterbium Oxide Yb2O3 Yb2O3/TREO: 2N-4N TREO: 2N min
Yttrium Oxide Y2O3 Re/TREO: 4N-5N TREO: 2N5-3N5  
Zinc Oxide ZnO 3N  
Zinc Aluminum Oxide ZnO:Al 3N  
Zirconium Oxide ZrO2 3N-4N  
Zirconia (Y-Stab) Zr 3N-4N  

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